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CPV: 38000000

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Zuschlag

Wettbewerb: 12 Angebote in 2/2 Losen (Ø 6 Angebote je Los).

Vergebene Aufträge
Gewinnermit Quellenhinweis
ASM Europe B.V.

System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS

6 Angebote 02.08.2024 Quelle öffnen
GewinnerLos LOT-0001mit Quellenhinweis
ASM Europe B.V.

ASM Europe B.V., 1322AP ALMERE

6 Angebote 2.335.634 € 02.08.2024 Quelle öffnen
OrtBrandenburg
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