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CPV: 73100000

Deutschland – Dienstleistungen im Bereich Forschung und experimentelle Entwicklung – »Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Zuschlag

Wettbewerb: 2 Angebote in 2/2 Losen (Ø 1 Angebote je Los).

Vergebene Aufträge
Gewinnermit Quellenhinweis
RWTH Aachen University (KöR)Lehrstuhls für Technologie Optischer Systeme (TOS)

»Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)

1 Angebot 21.08.2025 Quelle öffnen
GewinnerLos LOT-0000mit Quellenhinweis
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen

»Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)

1 Angebot 21.08.2025 Quelle öffnen
OrtDE
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