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CPV: 38000000

Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Zuschlag

Verknüpfte Bekanntmachung über den vergebenen Auftrag. Wettbewerbsdaten liegen noch nicht vor.

Vergebene Aufträge
Gewinnermit Quellenhinweis
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Wettbewerb: keine Angabe 681.300 € 26.02.2025 Quelle öffnen
GewinnerLos LOT-0001mit Quellenhinweis
SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

ICP-RIE-Plasmaätzanlage für cryogenes Trockenätzen von Silizium, Siliziumdioxid u.ä.

Wettbewerb: keine Angabe 681.300 € 26.02.2025 Quelle öffnen
OrtThüringen
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